Căn cứ vào Điều 38 của Luật Đầu tư 2005, thủ tục thực hiện ưu đãi đầu tư bao gồm:
1. Đối với dự án đầu tư trong nước thuộc diện không phải đăng ký đầu tư và dự án thuộc diện đăng ký đầu tư quy định tại Điều 45 của Luật này, nhà đầu tư căn cứ vào các ưu đãi và điều kiện ưu đãi đầu tư theo quy định của pháp luật để tự xác định ưu đãi và làm thủ tục hưởng ưu đãi đầu tư tại cơ quan nhà nước có thẩm quyền.
Trường hợp nhà đầu tư có yêu cầu xác nhận ưu đãi đầu tư thì làm thủ tục đăng ký đầu tư để cơ quan nhà nước quản lý đầu tư ghi ưu đãi đầu tư vào Giấy chứng nhận đầu tư.
2. Đối với dự án đầu tư trong nước thuộc diện thẩm tra đầu tư quy định tại Điều 47 của Luật này đáp ứng điều kiện được hưởng ưu đãi, cơ quan nhà nước quản lý đầu tư ghi ưu đãi đầu tư vào Giấy chứng nhận đầu tư.
3. Đối với dự án có vốn đầu tư nước ngoài đáp ứng điều kiện được hưởng ưu đãi, cơ quan nhà nước quản lý đầu tư ghi ưu đãi đầu tư vào Giấy chứng nhận đầu tư./.